导致石墨坩埚断裂的三大因素
2021-01-22 11:35:20
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导致石墨坩埚断裂的三大因素
一、加工缺陷。 这类原因造成的坩埚断裂后表现一般是从接缝处开裂,然后蔓延开。通常是沿垂直方向裂开。这类问题发生后比较容易发现,因为实在是太明显了。造成这类问题的原因主要是接缝过渡的角度(一般是105°或者115°)在相交点部分,没有采用倒圆角缓冲,加之加工过程中刀尖部分对埚体的微观撕裂,以及使用过程中坩埚本身的应力,造成开裂。
二、使用不当。 这个主要是在冷却降温拆炉这段时间。使用者在拉晶的时候又会有一个缩短升温时间和冷却时间以及拆炉时间的想法,提高生产效率无可厚非,这个可以理解。但是石墨这种材质能不能顶得住这个降温速度就要考量一下了。石墨材料在温度升高的情况下,强度方面会提高,换言之就是在温度降低的时候,强度会降低。降温过快,外壁和内壁之间的温差引起的应力,是否超过了坩埚所能承受的范围,这个就要考虑一下了。
三、运输装卸装拆不当。 运输装卸主要是在运输过程,这个和各个热场生产厂家的包装有关,也和物流公司有关。不过现在大部分都是选择自己送货了,这类原因在逐步减少。装拆主要是在拉晶过程,尤其是新手辅助工拆炉会偶尔有发生。
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