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石墨热场中多晶硅铸锭炉热场应该如何清理?
jcshimo   |   2023-09-09 11:14:46

石墨热场之多晶硅铸锭炉热场的拾掇可参阅以下内容:
     1.用百洁布擦洗顶部和侧部加热器以及CC碳板。然后用工业吸尘器对其外表发生的污渍进行拾掇,最后用酒精和擦炉纸擦洗加热器外表。(留心从顶部初步)
     2.用毛刷拾掇大顶板的排杂口,将杂物拾掇彻底。
     3.关于隔热笼及炉腔缝隙内可以用专门东西清洁。
     4.清洁完上炉体内,对隔热层表里能清到的当地拾掇一遍。
     5.拾掇石墨纤维板时,对其溢流口进行拾掇,使溢流口晓畅。
     6.用吸尘器拾掇溢流棉上杂物,颗粒物时,防止吸尘器吸力过大而损坏溢流棉,在拾掇过程中一定将杂物去除彻底而且检查溢流线的方位是否符合要求。(用吸尘器将炉腔内拾掇洁净,拾掇次序为:DS助凝板、石墨纤维板、防溢石棉、腔内壁杂物,直至承认炉体内无显着污物为准。)
     7.检修及拾掇完成后,要承认没有物体没有落到炉内,这一点很重要,要紧记。(留心不要将任何物品丢失到炉体内)
     8.装完料后,塞入四侧的碳纤维隔热板条并让其紧贴着坩埚底板,放置完成后,用吸尘器将坩埚四周拾掇洁净,悉数处理完成后,操作人员用蘸有酒精的无尘纸将下炉腔与炉体接触的两个面擦洗洁净,然后均匀地涂上一层真空脂,油脂适量即可,切忌过多,否则会影响抽真空且又构成糟蹋。

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