直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,石墨热场系统的作用是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在必定温度下进行的整个系统。
石墨热场一般包含(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
单晶炉石墨热场简略的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。常见的是18寸、22寸和24寸的石墨热场。一种盛行的石墨热场职业标准规划规划方案是选用石墨材料制造热场隔热部件。标准的石墨保温材料由板状或许多层毯状石墨化碳纤维材料组成,在接近热场中心的内表面往往需求加覆一层石墨纸或碳碳复合材料薄板用来提高热反射率和防止高压气流的冲刷。
因为等静压石墨热场材料自身所具有的多孔性和可渗透性,各层隔热材料之间不需求预留额定的空间。石墨材料具有优异的隔热性能,本钱一般较金属屏低,而且十分易于使用。就制造本钱,耐用性和可维护性而言,石墨隔热软毡较石墨隔热硬毡具有必定的优势。经过生产实践,金属隔热屏往往不适于环境恶劣的真空钎焊工艺。
石墨热场厂家用石墨材料制造石墨热场的隔热部件,实践证明,虽然在钎焊工艺中会有许多焊料沉积在石墨隔热材料的表面,但是却不会产生熔解的焊料与石墨隔热材料的熔合现象。虽然有人会质疑,以为石墨材料比金属材料更简略吸收水分,水分对钎焊工艺进程危害很大,但是,实践证明热场循环往复的升温与降温会很好地排除石墨隔热材猜中的水分。
石墨热场的特性如下:
一.单晶硅石墨热场,是一个及物理,化学,几何归纳理论为一体,专门研究人员经过多年重复考证。多年经验总结拟定。
二.热场选用细结构中粗石墨做炉底护盘,保温罩,上下盖。选用进口等静压石墨做加热器,坩埚,导流筒,托杆,锅托等,保证了石墨坩埚的强度及纯度。
三.热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度分布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其质料好坏直接影响热场寿命。
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