直拉单晶炉的热体系,也便是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶成长保持在 温度下进行的整个体系。
石墨热场一般包含(石墨资料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
石墨热场简略的说便是用来拉单晶硅的整套石墨加热体系。我们出产的石墨热场常见的是18寸,22寸寸和24寸。一种盛行的设计方案是选用石墨资料制造热场隔热部件。标准的石墨保温资料由板状或许多层毯状石墨化碳纤维资料组成,在挨近热场中心的内外表往往需求加覆一层石墨纸或碳碳复合资料薄板用来提高热反射率和防止高压气流的冲刷。因为石墨资料本身所具有的多孔性和可渗透性,各层隔热资料之间不需求预留额外的空间。石墨资料具有优异的隔热功能,本钱一般较金属屏低,而且非常易于运用。就制造本钱,耐用性和可维护性而言,石墨隔热软毡较石墨隔热硬毡具有 的优势。通过出产实践,金属隔热屏往往不适于环境恶劣的真空钎焊工艺。
来自于焊料的金属物质会沉积在金属隔热屏的外表,因为隔热屏与所附着的焊料物质的热膨胀系数不同,金属隔热屏会产生弯曲变形与开裂,这会下降金属屏的隔热功能。金属屏在遇到铜焊合金溅射的情况下很简单遭到危害,导致屏的外表构成孔洞,热量会从这些孔洞中传递出去。
当然,运用厚一些的金属屏特别是钼合金的屏会延伸金属热场的运用寿数,可是却增加了可观的本钱。比较好的解决方案是选用石墨资料制造隔热部件,实践证明,尽管在钎焊工艺中会有许多焊料沉积在石墨隔热资料的外表,可是却不会产生熔解的焊料与石墨隔热资料的熔合现象。尽管有人会质疑,认为石墨资料比金属资料更简单吸收水分,水分对钎焊工艺进程危害很大,可是,实践证明热场循环往复的升温与降温会很好地打扫石墨隔热材猜中的水分。
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