ylzzcom永利总站线路检测 欢迎您
高纯石墨制品的提纯工艺与行业使用标准
jcadmin   |   2026-07-17 08:37:02

高纯石墨制品是半导体、光伏、VC 散热等高精制造必备碳素构件,行业定义固定碳≥99.99%,灰分控制在 50ppm 以内,高端芯片制程原料杂质低至 10ppm 以下。普通工业石墨仅经过基础石墨化,内部残留铁、钙、铝等金属杂质,高温析出会造成工件发黑、性能失效,无法用于洁净高温工况。

主流提纯分为高温石墨化提纯与卤素化学提纯两道核心工序,先将石墨毛坯加热至 2800℃去除大部分无机杂质,再通入氟氯混合气体与金属杂质反应气化排出,多重循环提纯后大幅降低灰分。提纯完成后搭配恒温时效去应力,平衡内部结构密度,避免后续加工与高温使用形变。

不同行业纯度门槛存在明显区分:普通粉末冶金选用 99.9% 中纯石墨;光伏拉晶坩埚、PECVD 石墨舟要求灰分≤50ppm;8 寸、12 寸晶圆封装治具、SiC 单晶热场必须使用超高纯提纯石墨。成品还要经过 2000℃真空除气,排空内部吸附水汽,真空环境下放气量极低,不破坏炉膛真空度。

ylzzcom永利总站线路检测配备全套卤素提纯与真空净化工序,可按需生产各等级高纯石墨制品,涵盖模具、坩埚、热场配件、紧固件,出厂附带 ICP 杂质检测报告,可直接对标进口高纯石墨成品,缩短企业采购周期。

石墨加工厂
ylzzcom永利总站线路检测精选
推荐品类
再定义石墨品味
ylzzcom永利(总站)线路检测(中国)有限公司
地址:东莞市大朗镇仙村仙江路117号A5栋
服务热线:0769-89392518
手机:135-4936-5158(微信同号)Sitemap